大阪大学大学院工学研究科 附属超精密科学研究センター(遠藤研究室)

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遠藤研究室では、以下の5つのグループに分かれて、研究を推進しています。
(*班名をクリックすると、研究の詳細を見ることができます。)

  • CVM班 (* Chemical Vapor Machining = 化学気相研磨)
     CVM班では、プラズマにより気相中の分子をラジカル化させ、そのラジカルが基板表面の原子と反応し表面の原子を持ち去ることを利用して研磨をおこなっています。

  • ミラー班
     ミラー班では、電解加工を利用して、集光が難しい中性子用の楕円面ミラーを作製しています。

  • 研磨班
     次世代半導体デバイスや光学素子への応用が期待されるSiC・ダイヤモンド・サファイアは、高硬度かつ化学的に安定であるため加工が困難です。研磨班では、軟質砥粒による研磨と大気圧プラズマの照射を複合させた新たな加工法の開発に取り組み、これらの難加工材を高能率・低コストかつ超平滑に研磨することを目指しています。
    研磨班(SiC), 研磨班(ダイヤモンド), 研磨班(サファイア)

  • 形状計測班
     携帯電話のカメラなどの性能を良くするためには,高精度で非球面や,小曲率半径などの自由度の高い形状を製作する必要があります.そして,製作には計測技術が不可欠です.形状計測班では、レーザー光の直進性を利用して、計測対象表面の傾きの情報を得ることで、計測対象形状を導出する手法を開発しています。計測対象に触れることなく、自由度の高い形状を測定する技術です。現在は、「測定を高速化(短時間化)すること」と「測定誤差をシングルナノメートルにすること」を目標に研究をおこなっています。

  • 表面機能化班
     表面機能化班では、基材にプラズマを照射して基材表面の反応性を高めることにより、基材の接着性を向上させたり、基材に別の機能を持った分子を結合させて表面のみを別の性質に変える研究を行っています。
    プレスリリース1(PTFEとAgインク膜の高密着化), プレスリリース2(PTFEとゴムの高密着化), プレスリリース3(大阪大学・積水化学工業・日油の協力体制で実用化を加速), プレスリリース4(フッ素樹脂の表面改質状態を超長寿命化), プレスリリース5(低コストでプラズマ処理の表面改質能力を大幅向上)

  • 超精密科学研究センター  〒565-0871  大阪府吹田市山田丘2-1
    TEL:06-6879-7292  FAX:06-6879-7292  E-mail: