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超純水のみによる電気化学加工 |
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超純水のみによる電気化学加工法では、触媒反応と高電界によって超純水中の水分子をOHとHに解離し、これら化学的活性分子と材料表面との化学反応により加工を行います。
表面の物性を損なわない原子レベルの加工が可能であるとともに、電解液や特殊ガスを使用しないため、加工物表面の汚染が無く、洗浄が不要であり、廃液や有害ガスの排出も無い、低コストで地球環境に優しい加工プロセスが実現されます。
これまでに、超純水中の水分子を解離するための触媒材料を開発し、H+イオンやOH-イオンの密度を、常温・常圧水の100万倍にまで増加させることに成功しています。そして、銅・鉄・モリブデン等の各種金属の加工を、従来の電解液を用いた方法に匹敵する加工速度で行うことが可能になっています。
さらに、加工物を陰極とすることで、従来陽極では加工できなかった、シリコンやアルミニウムの加工が可能になるという新しい物理現象が発見されています。
銅の平坦化加工実験では、機械加工で得られる最高レベルの表面に匹敵する平坦面を創成することができ、超LSIの立体銅配線形成プロセスや、各種高性能金属非球面ミラー加工への応用が期待されています。
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