森　勇藏、広瀬喜久治、後藤英和、岩井章人、一井愛雄、當間　康、小畠厳貴
超純水のみによる電気化学的加工法の研究―水分子を解離する機能を有する電極の開発―
精密工学会2003年度関西地方定期学術講演会講演論文集、25-26 (2003).

森 勇藏, 山内和人, 三村秀和, 久保田章亀, 遠藤勝義, 有馬健太,　稲垣耕司
EEM(Elastic Emission Machining)による広空間波長帯域の修正
精密工学会2003年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 29-30 (2003).

池田学、有馬健太、垣内弘章、遠藤勝義、森田瑞穂、森勇藏
光照射を利用した水素化アモルファスシリコン表面の走査型トンネル顕微鏡観察
精密工学会2003年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 49-50 (2003).

打越純一、岡本太一朗、森田瑞穂
近赤外光干渉法によるシリコンミラーの平面度測定（第2報) ―部分コヒーレント光による多重干渉の抑制―
精密工学会2003年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 61-62 (2003).

森 勇藏, 芳井熊安, 安武　潔, 垣内弘章, 大参宏昌, 増山　章, 芝田雅仁, 山本　憲
大気圧プラズマCVD法によるSiの低温・高速エピタキシャル成長
精密工学会2003年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 73-74 (2003).

森 勇藏, 芳井熊安, 安武　潔, 垣内弘章, 大参宏昌, 西嶋健一
大気圧プラズマCVD法による多結晶Si薄膜の高速形成
精密工学会2003年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 75-76 (2003).

森 勇藏, 芳井熊安, 安武　潔, 垣内弘章, 大参宏昌, 中濱康治
大気圧プラズマCVD法によるSiNx薄膜の高速形成に関する研究―原料ガス混合条件の検討―
精密工学会2003年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 77-78 (2003).

森 勇藏, 芳井熊安, 安武　潔, 垣内弘章, 大参宏昌, 明田正俊
大気圧プラズマCVD法によるSiCの高速成膜―成膜パラメータと膜構造の相関―
精密工学会2003年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 79-80 (2003).

西川修平、青木稔、吉井直人、有馬健太、森田瑞穂
モノメチルシラン(SiH3CH3)を原料ガスとした熱CVD法によるSiC薄膜の作製と評価
精密工学会2003年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 81-82 (2003).

佐々木都至, 森　勇藏, 遠藤勝義, 安　弘, 西井雅紀
光散乱法を用いたSiウエハ表面のマイクロラフネス測定法
精密工学会2003年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 93-94 (2003).

玉置晃啓、広瀬喜久治、岩田康嗣、島田尚一
第一原理計算によるシリコンクラスター微細構造解析
精密工学会2003年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 109‐110 (2003)

柴原正文, 真鍋元保, 松井　博, 山村和也, 佐野泰久, 杉山　剛, 遠藤勝義, 森　勇蔵
プラズマCVMによる超高周波水晶振動子の加工―第2報―
2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 330-330 (2003).

森　勇藏, 山内和人, 三村秀和, 久保田章亀, 稲垣耕司, 有馬健太, 遠藤勝義
EEM(Elastic Emission Machining)による表面広空間波長帯域の形状/粗さ修正
2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 334-334 (2003).

森　勇蔵, 広瀬喜久治, 後藤英和, 岩井章人, 一井愛雄, 半田宗一郎, 當間　康, 小畠厳貴
超純水のみによる電気化学的加工法の研究―水分子を解離する機能を有する電極の開発―
2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 337-337 (2003).

森　勇蔵, 芳井熊安, 安武　潔, 垣内弘章, 大参宏昌, 中濱康治
大気圧プラズマCVD法によるSiNx薄膜の高速形成に関する研究―TDSによる膜構造評価―
2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 459-459 (2003).

佐々木都至, 安　弘, 遠藤勝義, 森　勇藏, 西井雅紀
光散乱法によるマイクロラフネス測定法に対するPSDを用いた比較測定評価法
2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 500-500 (2003).

荒井智行, 島田尚一, 佐藤裕也, 稲垣耕司, 森　勇藏
水微細構造の分子動力学解析
2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 535-535 (2003).

森　勇蔵, 遠藤勝義, 東　保男, 久米達也, 宮脇　崇, 瀬戸口大輔
シンクロトロン放射光用ミラーの超精密形状測定装置の開発−測定装置における空間分解能の検討−
2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 544-544 (2003).

森　勇藏, 遠藤勝義, 東　保男, 久米達也, 宮脇　崇, 瀬戸口大輔
シンクロトロン放射光用ミラーの超精密形状測定装置の開発−本測定装置と干渉計データの比較検討−
2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 545-545 (2003).

押鐘　寧, 佐藤慎也, 長尾明彦, 山村和也, 遠藤勝義
狭ギャップ間の高速定常ガス流下における大気圧・高周波He/CF4/O2プラズマの分光診断
第64回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 93-93 (2003).

志村考功，三島永嗣，安武　潔，梅野正隆
貼り合せSOIウェーハの放射光X線トポグラフにおける同心円状パターン
第64回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 764-764 (2003).

森　勇藏, 佐野泰久, 山村和也
数値制御プラズマCVM (Chemical Vaporization Machining)によるSOIの超薄膜化
第64回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 766-766 (2003).

若狭加奈子，小野倫也，後藤英和，広瀬喜久治
第一原理分子動力学シミュレーションによる水分子解離過程の解析
日本物理学会講演概要集，58-2，264-264, (2003).

稲垣耕司，安武潔，ネルソンアルボレダ，笠井秀明，広瀬喜久治
水素ラジカルによる水素終端化Si(001)2x1表面からの水素引き抜き反応の運動エネルギーを保存した第一原理分子動力学シミュレーション
日本物理学会講演概要集，58-2，778-778, (2003).

小野倫也，広瀬喜久治
第一原理計算による金属原子鎖の電気伝導特性解析
日本物理学会講演概要集，58-2，793-793, (2003).

佐々木孝，谷出敦，小野倫也，広瀬喜久治
第一原理に基づくオーダーN電子状態計算手法の開発
日本物理学会講演概要集，58-2，794-794, (2003).

大谷めぐみ，小野倫也，稲垣耕司，広瀬喜久治
第一原理計算によるフラーレン鎖の電気特性の解析I
日本物理学会講演概要集，58-2，794-794, (2003).

江上喜幸，小野倫也，広瀬喜久治
第一原理計算によるナトリウムナノワイヤーの電気伝導特性の予測
日本物理学会講演概要集，58-2，795-795, (2003).

広瀬喜久治
第一原理計算によるナノスケール構造の電気伝導予測
日本物理学会講演概要集，58-2，809-809, (2003).

垣内弘章, 中濱康治, 大参宏昌, 安武　潔, 芳井熊安, 森　勇蔵
大気圧プラズマCVD 法によるSiNx 薄膜の高速形成に関する研究―プラズマの発光分析―
2004年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 711-712 (2004).

佐々木都至, 森　勇藏, 遠藤勝義, 安　弘, 西井雅紀
ウエット洗浄によるSiウエハ表面のナノ構造評価
2004年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 827-828 (2004).

井上晴行, 片岡俊彦, 和田勝男, 出口智己, 長尾祥浩, 越智保文, 有馬健太, 森田瑞穂
レーザ光散乱法によるSi ウエハ表面上の微小酸化膜段差の観察
2004年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 967-968 (2004).

柴原正文, 真鍋元保, 松井　博, 山村和也, 佐野泰久, 杉山　剛, 遠藤勝義, 森　勇蔵
プラズマCVMによる超高周波水晶振動子の加工―第3 報―
2004年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1101-1102 (2004).

押鐘　寧, 佐藤慎也, 長尾明彦, 山村和也, 遠藤勝義
回転電極を用いた大気圧プラズマCVM中における光学的手法によるラジカル計測
2004年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1103-1104 (2004).

押鐘　寧，佐藤慎也，長尾明彦，山村和也，遠藤勝義
大気圧CVMプラズマによるSiウエハのエッチング加工プロセスの分光診断　―発光および蛍光分光による加工雰囲気と生成物の評価―
第51回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 148-148 (2004)

三島永嗣，志村考功，安武　潔，梅野正隆
貼り合わせSOIウェーハの放射光X線トポグラフにおける同心円状パターン�U
第51回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 948-948 (2004)

有馬健太，垣内弘章，池田　学，遠藤勝義，森田瑞穂，森　勇藏
光照射下での走査型トンネル顕微鏡／分光法を用いたa-Si:H薄膜の評価
第51回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 995-995 (2004)

大参宏昌，垣内弘章，安武　潔，中濱康治，江畑祐介，芳井熊安，森　勇藏
大気圧プラズマCVDによる多結晶Si薄膜の形成
第51回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 1002-1002 (2004)

松山智至, 山内和人, 山村和也, 三村秀和, 佐野泰久, 湯本博勝, 遠藤勝義, 玉作賢治, 矢橋牧名, 西野吉則, 石川哲也, 森　勇藏
走査型Ｘ線顕微鏡のための楕円体ミラーを用いた二次元集光ユニットの開発
第51回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 747-747 (2004)

佐々木孝，小野倫也，広瀬喜久治
第一原理に基づくオーダーN電子状態計算手法の開発II
日本物理学会講演概要集，59-1，889-889, (2004).

桂大詞，稲垣耕司，遠藤勝義，広瀬喜久治，森勇蔵
光反射率スペクトルを用いたSi結晶表面評価法の開発−新しい測定装置の開発−
日本物理学会講演概要集，59-1，891-891, (2004).

掛谷悟史，稲垣耕司，山村和也，佐野泰久，広瀬喜久治，遠藤勝義
第一原理分子動力学シミュレーションを用いたα-アルミナ表面の化学反応によるエッチングプロセスの探索
日本物理学会講演概要集，59-1，899-899, (2004).

江上喜幸，小野倫也，広瀬喜久治
第一原理計算によるナノストラクチャーの電気伝導特性の予測
日本物理学会講演概要集，59-1，901-901, (2004).

中川大輔，小野倫也，広瀬喜久治
第一原理計算による酸化シリコン薄膜のリーク電流の予測
日本物理学会講演概要集，59-1，901-901, (2004).

小野倫也，広瀬喜久治
金属原子鎖の構造と電気伝導特性
日本物理学会講演概要集，59-1，934-934, (2004).

三島永嗣，志村考功，安武　潔，梅野正隆
放射光X線トポグラフィによる薄膜SOIウエハの同心円状パターン解析
第65回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 746 (2004).

湯本博勝，山内和人，三村秀和，松山智至，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，森　勇藏
硬X線ナノ集光のための高精度楕円体ミラーの作製と集光特性の評価
第65回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 602 (2004).

松山智至，山内和人，三村秀和，湯本博勝，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，森　勇藏
ミラー集光系を用いたX線顕微鏡(ナノスコピー)の開発
第65回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 605 (2004).

押鐘　寧，長尾明彦，山村和也，小田昭紀，遠藤勝義
Arアクチノメトリー法による大気圧プラズマCVMプロセス中のO原子，F原子密度の空間分布診断密度分布と加工痕形状との相関 -
第65回応用物理学会学術講演会 1p-S-2, (2004).

小山　晋，中嶋大貴，南　鋼介，大参宏昌，渡部平司，安武　潔
Ge微結晶核を用いた大粒径多結晶Si薄膜作製のための基板表面制御
第52回応用物理学関係連合講演会講演予稿集，948 (2005)

三島永嗣，川村浩太，志村考功，渡部平司，安武　潔，神山　聡，赤坂泰志，奈良安雄，中村邦雄，山田啓作
X線CTR散乱によるHfSiOx/SiO2/Si構造の界面残留秩序の測定
第52回応用物理学関係連合講演会講演予稿集，904 (2005)

吉田慎一，渡部康匡，志村考功，渡部平司，安武　潔，赤坂泰志，奈良安雄，中村邦雄，山田啓作
TiN/HfSiON界面反応がHigh-k膜の結晶化温度と電気特性に及ぼす影響
第52回応用物理学関係連合講演会講演予稿集，905 (2005)

渡部康匡，吉田慎一，志村考功，渡部平司，安武　潔，神山　聡，有角経敏，白石賢二，梅澤直人，知京豊裕，山田啓作
Hf-Silicate膜の局所絶縁劣化現象のC-AFM観察　−窒化による信頼性向上機構の検討−
第52回応用物理学関係連合講演会講演予稿集，908 (2005)

若宮拓也，山本　憲，田原直剛，大参宏昌，垣内弘章，渡部平司，安武　潔，芳井熊安，森　勇蔵
大気圧プラズマCVD法によるエピタキシャルSiの低温かつ高速成長
第52回応用物理学関係連合講演会講演予稿集，961 (2005)

真鍋　賢，齋藤　彰，北本克征，高橋浩史，広常慎治，田中義人，石川哲也，辛埴，桑原裕司，青野正和
放射光STM装置を用いた実空間・原子スケールでの元素識別への試み
第52回応用物理学関係連合講演会, (2005).

大西秀治，武尾　篤，齋藤　彰，桑原裕司，青野正和
LiNbO3、LiTaO3表面の超平坦化とその構造解析
第52回応用物理学関係連合講演会, (2005).

山本優介，宮村友輔，赤井　恵，齋藤　彰，桑原裕司，青野正和
単一分子鎖へのSTM探針による直接電荷注入
第52回応用物理学関係連合講演会, (2005).

植村隆文，古本雅子，中野剛志，赤井　恵，齋藤　彰，桑原裕司，青野正和
トンネル電流誘起発光解析による個々の多層カーボンナノチューブからの発光特性解析
第52回応用物理学関係連合講演会, (2005).

小野倫也，中川大輔，広瀬喜久治
第一原理電気伝導計算による酸化シリコン膜のリーク電流予測
第52回応用物理学関係連合講演会, (2005).

押鐘　寧，長尾明彦，山村和也，遠藤勝義，小田昭紀
干渉フィルタを用いたモノクロプラズマ像によるArアクチノメトリー計測 大気圧プラズマCVMプロセス中のO原子，F原子密度の2次元空間分布 -
第52回応用物理学関係連合講演会 29a-H-4, (2005).

大参宏昌，垣内弘章，安武　潔，中濱康治，江畑祐介，芳井熊安，森　勇藏
大気圧プラズマCVDによる多結晶Si薄膜の形成（II）
第52回応用物理学関係連合講演会講演予稿集，578 (2004).

明田正俊，大参宏昌，垣内弘章，安武　潔，芳井熊安，濱岡儀徳
大気圧プラズマを用いたカーボンナノチューブの形成（Ｉ）
第52回応用物理学関係連合講演会講演予稿集，518 (2004).

堀江伸哉，小野倫也，広瀬喜久治，遠藤勝義
第一原理電気伝導計算による水素原子が吸着したSi(001)表面のSTM像の解析
日本物理学会第60回年次大会, (2005).

中川大輔，小野倫也，広瀬喜久治
第一原理計算に基づく酸化シリコン薄膜の電子輸送特性の予測
日本物理学会第60回年次大会, (2005).

佐々木孝，小野倫也，広瀬喜久治
第一原理に基づく半無限結晶電極に挟まれたナノストラクチャーの電子状態計算手法
日本物理学会第60回年次大会, (2005).

大塚　順，小野倫也，広瀬喜久治
ワニエ関数を用いた誘電率の計算
日本物理学会第60回年次大会, (2005).

江上喜幸，小野倫也，広瀬喜久治
単原子鎖におけるコンダクタンス振動現象の理論的解析
日本物理学会第60回年次大会, (2005).

矢賀寛久，小野倫也，稲垣耕司，後藤英和，広瀬喜久治
第一原理分子動力学法を用いた水分子の動的構造計算
精密工学会2004年度関西地方定期学術講演会講演論文集，15-16 (2004).

宮田卓哉，稲垣耕司，広瀬喜久治，遠藤勝義，森勇藏
光反射スペクトルを用いたSi結晶表面評価 〜クリーン環境下での測定を実現する表面評価法の開発および加工表面の評価〜
精密工学会2004年度関西地方定期学術講演会講演論文集，65-66 (2004).

広瀬喜久治
超平滑・高精度表面形成プロセスのモデリングとシミュレーション
精密工学会2004年度関西地方定期学術講演会特別講演 (2004).

井上晴行，片岡俊彦，和田勝男，長尾祥浩，山木 宰，越智保文，有馬健太，森田瑞穂
レーザ光散乱法によるSiウエハ表面上の極薄酸化膜段差の計測
精密工学会2004年度関西地方定期学術講演会 Ｂ０３

神田貴史，小西康介，押鐘　寧，片岡俊彦，中川寛文，井上晴行，中野元博
微小突起をプローブとした走査型近接場光学顕微鏡によるシリコン表面の微小ステップの観察
精密工学会2004年度関西地方定期学術講演会 Ｂ０４

武野紘宜，堀田克広，押鐘　寧，片岡俊彦，中川寛文，井上晴行，中野元博
フェムト秒レーザーパルス列の走査集光照射を用いた回折限界以下の３次元光微細造形技術の開発
精密工学会2004年度関西地方定期学術講演会 Ｂ０５

長尾明彦，押鐘　寧，山村和也，遠藤勝義，森　勇藏
プラズマCVMによるSiウエハ加工プロセスにおける分光計測
精密工学会2004年度関西地方定期学術講演会 Ａ１１

中村亮崇，押鐘　寧，片岡俊彦，井上晴行，中野元博
大口径光学素子の絶対形状評価のためのファイバ型２光源PDI形状計測装置の開発
精密工学会2004年度関西地方定期学術講演会 Ｂ１５

中野元博，甘崎哲太郎，細谷明弘，片岡俊彦，山内良昭
エバネセント場照明を用いた界面近傍流れによる微粒子運動の観察
精密工学会2004年度関西地方定期学術講演会 Ｂ１９

中野元博，田中和夫，小野貴俊，尾崎典雅，片岡俊彦，山内良昭
ポリスチレン中を伝播するパルスレーザー誘起衝撃波の速度と圧力・温度の同時計測法の開発
精密工学会2004年度関西地方定期学術講演会 Ｂ２０

垣内弘章，中濱康治，大参宏昌，安武 潔，芳井熊安，森 勇藏，江西一宜
大気圧プラズマCVD 法によるSiNx 薄膜の高速形成に関する研究─プラズマ中における原料ガスの分解について─
精密工学会2004年度関西地方定期学術講演会講演論文集，83-84 (2004).

大参宏昌，垣内弘章，安武 潔，中濱康治，江畑祐介，浜岡儀徳，芳井熊安，森　勇藏
大気圧プラズマCVD 法による多結晶Si 薄膜の高速形成（�U）─成膜速度の決定因子─
精密工学会2004年度関西地方定期学術講演会講演論文集，85-86 (2004).

打越純一，津田周，森田瑞穂，有馬健太
近赤外光干渉法によるシリコンミラーの平面度測定（第３報）
精密工学会2004年度関西地方定期学術講演会講演論文集，91-92 (2004).

湯本博勝，山内和人，三村秀和，松山智至，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，石川哲也，森　勇藏
高精度Ｘ線ミラーのための干渉計を利用した形状計測システムの開発
精密工学会2004年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 95-96 (2004).

一井愛雄，森　勇藏，後藤英和，広瀬喜久治，遠藤勝義，山内和人，八木圭太，半田宗一郎
超純水のみによる電気化学的加工法の研究―水分子を解離する機能を有する触媒電極の開発―
精密工学会2004年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 17-18 (2004).

大参宏昌，垣内弘章，安武　潔，中濱康治，江畑裕介，浜岡儀徳，芳井熊安，森　勇藏
大気圧プラズマCVDによる多結晶Si薄膜の形成
2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 621-622 (2004).

垣内弘章，中濱康治，大参宏昌，安武　潔，芳井熊安，森　勇藏
大気圧プラズマCVD法によるSiNx薄膜の高速形成に関する研究―プラズマの発光分析(II)―
2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 623-624 (2004).

仲岡亮史，有馬健太，桧皮賢治，森田瑞穂
水平方向に磁場を印加したホール効果による材料内部構造解析法の開発
2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 611-612 (2004).

湯本博勝，山内和人，三村秀和，松山智至，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，石川哲也，森　勇藏
干渉計を用いた楕円体ミラーの形状計測 ―高精度スティッチング法の開発―
2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 185-186 (2004).

加藤　潤, 久保田章亀, 有馬健太, 山村和也, 山内和人, 遠藤勝義, 森　勇藏
STM によるSi(011),(111)ウエハ超精密加工表面の原子構造観察
2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 617-618 (2004).

石田剛志, 有馬健太, 遠藤勝義, 森　勇藏
STM/LEED、XPS による4H-SiC(0001)プロセス表面の原子構造解析
2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 619-620 (2004).

森　勇藏, 東　保男, 遠藤勝義, 宮脇　崇, 瀬戸口大輔, 久米達哉, 江並和宏, 鷹家優一
シンクロトロン放射光用ミラーのための超精密非球面形状測定装置の開発 −測定精度の検討−
2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 1123-1124 (2004).

島田尚一，荒井智行，稲垣耕司，後藤英和，広瀬喜久治，森勇藏
超純水のみによる電気化学的加工法の研究―水分子を解離する機能を有する電極の開発―
2004年度精密工学会秋季大会学術講演会, (2004).

押鐘　寧，片岡俊彦，中村崇亮，井上晴行，中野元博
ファイバ光源を利用したＰＤＩ計測装置による大口径ミラーの絶対形状計測
2004年度精密工学会秋季大会学術講演会, N14, (2004)

押鐘　寧，長尾明彦，山村和也，小田昭紀，遠藤勝義
大気圧プラズマＣＶＭプロセスにおけるＦ，Ｏ原子密度の空間分布のアルゴンアクチノメトリー計測
2004年度精密工学会秋季大会学術講演会, H27, (2004)

押鐘　寧，武野紘宜，堀田克広，片岡俊彦，中川寛文，井上晴行，中野元博
フェムト秒レーザーパルスに誘起された２光子吸収過程によるサブμｍ構造物の製作
2004年度精密工学会秋季大会学術講演会, H02, (2004)

中嶋大貴，小山　晋，南　綱介，大参宏昌，渡部平司，安武　潔，芳井熊安，森　勇藏
Ge微結晶核付SiO2基板を用いたSi薄膜成長に関する研究
2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 517-518 (2005).

南　綱介，中嶋大貴，小山　晋，大参宏昌，渡部平司，安武　潔，芳井熊安，森　勇藏
大粒径多結晶Si薄膜作製のためのGe微結晶核を利用した基板表面制御
2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 515-516 (2005).

垣内弘章，松本光弘，江畑祐介，大参宏昌，桑原康人，安武　潔，芳井熊安，森　勇藏
大気圧プラズマCVDによるアモルファスSiの超高速成膜ー太陽電池特性と発電層形成条件の相関ー
2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集，519-520 (2005).

加藤　潤, 堀江伸哉, 小野倫也, 有馬健太, 遠藤勝義
STM による湿式洗浄後のSi(110)水素終端化表面の原子構造解析
2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 71-72 (2005).

竹本慎太朗, 岡本亮太, 稲垣耕司, 遠藤勝義
高周波パルスSTM(Scanning Tunneling Microscopy)の開発
2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 71-72 (2005).

森　勇藏, 遠藤勝義, 宮脇　崇, 瀬戸口大輔, 鷹家優一, 東　保男, 久米達哉, 江並和宏
シンクロトロン放射光用ミラーのための超精密非球面形状測定装置の開発−形状測定装置上のゴニオメータの較正−
2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1029-1030 (2005).

久保田章亀, 三村秀和, 稲垣耕司, 佐野泰久, 山村和也, 山内和人, 森　勇藏
EEM (Elastic Emission Machining)によるSiC 表面の平坦化
2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1265-1266 (2005).

柴原正文, 山村和也, 遠藤勝義, 森　勇藏, 佐野泰久, 杉山　剛
プラズマCVMによる超高周波水晶振動子の加工（第5報）
2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1267-1268 (2005).

長尾明彦, 押鐘　寧, 山村和也, 遠藤勝義, 小田昭紀
Arアクチノメトリー法と狭帯域バンドパスフィルターを用いたプラズマCVM中のF,O原子密度の2次元空間分布計測
2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1269-1270 (2005).

三村秀和, 松山智至, 湯本博勝, 原　英之, 山村和也, 佐野泰久, 遠藤勝義, 森　勇藏, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人
超高精度X線集光ミラーの作製と集光特性の評価
2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1271-1272 (2005).

長尾明彦，押鐘　寧，山村和也，遠藤勝義，小田昭紀
Arアクチノメトリー法と狭帯域バンドパスフィルターを用いたプラズマCVM中のF,O原子密度の2次元空間分布計測
2005年度精密工学会春季大会学術講演会, O52, (2005).

吉田慎一，渡部平司，安武　潔，Ahmet Parhat，知京豊裕，山田啓作
コンビナトリアル成膜Pt-Wメタルゲート電極の仕事関数マッピング
ゲートスタック研究会予稿集, 271-274 (2005)

渡部康匡，志村考功，渡部平司，安武　潔，神山　聡，有角経敏，白石賢二，梅澤直人，知京豊裕，山田啓作
HfSiON膜中の局所絶縁劣化箇所のC-AFM観測　−窒化による信頼性向上のメカニズム−
ゲートスタック研究会予稿集, 327-331 (2005)

中川大輔，小野倫也，広瀬喜久治
第一原理電子輸送特性計算による酸化シリコン薄膜のリーク電流の予測
ゲートスタック研究会予稿集, 81-86 (2005)

広瀬喜久治
第一原理計算によるナノスケール構造の電子輸送予測
分子スケールエレクトロニクス研究会プログラム，O-11, (2004).

佐々木孝，小野倫也，広瀬喜久治
第一原理に基づくオーダーN電子状態計算
分子スケールエレクトロニクス研究会プログラム，P-1, (2004).

小野倫也，広瀬喜久治
金属原子鎖の構造と電子輸送特性
分子スケールエレクトロニクス研究会プログラム，P-2，(2004).

江上喜幸，小野倫也，広瀬喜久治
第一原理計算によるナノ構造体の電子輸送特性の予測
分子スケールエレクトロニクス研究会プログラム，P-3, (2004).

中川大輔，小野倫也，広瀬喜久治
第一原理に基づく酸化シリコン薄膜のリーク電流計算
分子スケールエレクトロニクス研究会プログラム，P-4，(2004).

桑原裕司，赤井　恵，高見和宏，植村隆文，齊藤　彰，青野正和
分子スケール機能計測手法の開発とその応用
分子スケールエレクトロニクス研究会

赤井　恵，西原清仁，大田黒敦彦，齊藤　彰，桑原裕司，青野正和
STM探針によるポリジアセチレン分子ワイヤーへのポーラロン注入
分子スケールエレクトロニクス研究会

高見和宏，赤井　恵，齊藤　彰，青野正和，桑原裕司
独立駆動二探針STMによるポリジアセチレン薄膜の電気伝導特性評価
分子スケールエレクトロニクス研究会

赤井　恵，西原清仁，大田黒敦彦，齊藤　彰，桑原裕司，青野正和
有機分子コーティングされた金属微粒子による量子ポイントコンタクト制御
分子スケールエレクトロニクス研究会

植村隆文，高見和宏，赤井　恵，齊藤　彰，青野正和，桑原裕司
多層カーボンナノチューブからのトンネル電流誘起発光
分子スケールエレクトロニクス研究会

小山晋，中嶋大貴，南綱介，大参宏昌，渡部平司，安武潔，森勇藏
大粒径多結晶Si 薄膜作製のためのGe 微結晶核を利用した基板表面制御
薄膜材料デバイス研究会プロシーティングスp.125（2004）

小山　晋，中嶋大貴，南　綱介，大参宏昌，渡部平司，安武　潔，森　勇蔵
大粒径多結晶Si薄膜作成のためのGe微結晶核を利用した基盤表面制御
薄膜材料デバイス研究会第1回研究会「TFTのすべて」Thin Film Materials & Devices Meeting p.36 （2004）

太田黒敦彦，西原清仁，赤井恵，齋藤彰，桑原裕司，青野正和
金属微粒子を用いた量子ポイントコンタクトの制御
2004年度関西薄膜・表面物理セミナー

樋口裕一，山本優介，赤井恵，齋藤彰，桑原裕司，青野正和
ポリジアセチレン重合鎖の形成とそのメカニズムの解明
2004年度関西薄膜・表面物理セミナー

桑原裕司，赤井恵，大川祐司，青野正和
有機単分子膜の構造・反応制御とその機能評価
第63回高分子若手研究会

押鐘　寧，片岡俊彦
大口径光学素子の絶対形状評価へのファイバ型２光源ＰＤＩ形状計測装置の応用
「重力波研究の新しい展開」技術検討会

押鐘　寧，片岡俊彦
大口径光学素子の絶対形状評価へのファイバ型２光源ＰＤＩ形状計測装置の応用
「重力波研究の新しい展開」シンポジウム

松山智至，三村秀和，湯本博勝，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森　勇藏，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
ミラー集光光学系を用いた高分解能硬X線CT顕微鏡の開発
第18回日本放射光学会　シンポジウム論文集　106 (2005).

三村秀和，松山智至，湯本博勝，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森　勇藏，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
高精度非球面全反射ミラーによる硬X線の回折限界集光
第18回日本放射光学会　シンポジウム論文集　143 (2005).

湯本博勝，三村秀和，松山智至，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森　勇藏，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
干渉計を用いた高精度表面形状計測法の開発と硬X線集光ミラーへの適応
第18回日本放射光学会　シンポジウム論文集 209 (2005).

桑原裕司、有馬健太、赤井恵、齋藤彰、遠藤勝義、青野正和
ナノ材料・表面の原子構造・機能評価−STMをベースにした新規計測手法の開発とその応用−
2005年度精密工学会秋季大会 (2005).

古本雅子、植村隆文、中野剛志、赤井恵、斉藤彰、桑原裕司、青野正和
トンネル電流誘起発光分析を用いたフタロシアニン薄膜の発光特性
2005年度精密工学会秋季大会 (2005).

大森　力、赤井　恵、斉藤　彰、桑原　裕司、青野　正和
ペンタセンナノロッドの電気伝導特性評価
2005年度精密工学会秋季大会 (2005).

樋口裕一、大神直輝、赤井恵、斉藤彰、桑原裕司、青野正和
ナノギャップフラット電極を用いた機能性有機分子デバイスの特性評価
2005年度精密工学会秋季大会 (2005).

武尾篤　大西秀治　齋藤彰　桑原裕司　青野正和
LiNb3・LiTaO3表面の平坦化とその構造解析
2005年度精密工学会秋季大会 (2005).

原　英之、佐野泰久、三村秀和、山内和人
触媒を援用した化学ポリッシング法によるSiCの加工
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 337-338, (2005).

森　勇藏、遠藤勝義、鷹家優一、東　保男、久米達哉、江並和宏
シンクロトロン放射光用ミラーのための超精密非球面形状測定装置の開発‐X-ray集光用ミラーの測定と干渉計との比較‐
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 349-350, (2005).

湯本博勝、三村秀和、松山智至、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森　勇藏、石川哲也、山内和人
硬X線ナノ集光ミラーの形状計測‐高精度スティッチング法の開発‐
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 453-454, (2005).

山本雄介、柴原正文、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森　勇藏
プラズマCVMによる超高周波水晶振動子の加工(第6報)‐パイプ電極を用いた数値制御加工による水晶ウエハ厚さの均一化‐
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 525-526, (2005).

柴原正文、山本雄介、滝　賢介、山村和也、佐野泰久、田中良明、結城広昭、村上資郎、遠藤勝義、森　勇藏
プラズマCVMによる超高周波水晶振動子の加工(第7報)‐PCVM加工面に作製した水晶振動子のデバイス特性評価‐
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 527-528, (2005).

渡辺容代、佐野泰久、山村和也、山内和人、石田剛志、有馬健太、遠藤勝義、森　勇藏
プラズマCVMによるSiCの加工特性
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 529-530, (2005).

藤原明大、上野浩司、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森　勇藏
数値制御プラズマCVMによるEUVLマスク基板の平坦化(第1報)‐石英ガラスの加工特性‐
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 531-532, (2005).

加藤邦仁、伊藤公人、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森　勇藏
大気圧プラズマを用いた航空間分解能加工プロセスの開発‐シリコンの加工特性‐
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 533-534, (2005).

大道朱里、三村秀和、久保田亀章、山内和人、森　勇藏
ＥＥＭの表面創成機構に関する研究-超純水および溶存酸素がSi(100)表面に与える影響-
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 537-538, (2005).

八木圭太、一井愛雄、森　勇藏、広瀬喜久治、遠藤勝義、後藤英和
超純水のみによる電気化学加工法の研究‐加工中に生成するOHラジカルの測定‐
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 545-546, (2005).

増谷宗彦、森田健一、森　勇藏、遠藤勝義、山内和人、後藤英和
超純水・高速せん段流による洗浄法の開発‐Si基板表面のCu汚染の洗浄効果‐
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 547-548, (2005).

森田健一、澤井康二、後藤英和、山内和人、遠藤勝義、森　勇藏
超純水・高速せん段流による洗浄法の開発‐Si基板表面のDOP汚染の洗浄‐
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 549-550, (2005).

佐々木都至、遠藤勝義、森　勇藏、安　弘、見澤　守、植村　健、永田　工
光散乱法を用いたラフネス測定における検出空間波長の特性
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 771-772, (2005).

重歳卓志、有馬健太、井上晴行、川島　宰、片岡俊彦、森田瑞穂
MOS(金属−極薄酸化膜−半導体)ダイオードによるSi表面研磨状態の評価
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 777-778, (2005).

加藤　潤、久保田章亀、有馬健太、山村和也、森　勇藏、山内和人、遠藤勝義
STMによるEEM(Elastic Emission Machining)の加工機構の解明
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 779-780, (2005).

石田剛志、有馬健太、佐野泰久、山村和也、森　勇藏、遠藤勝義
大気圧プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)加工をいった4H-SiC(0001)表面の原子構造解析
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 783-784, (2005).

桧皮賢治、仲岡亮史、森田瑞穂、有馬健太
表面ホール電位測定による半導体材料の電気的性質の評価
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 789-790, (2005).

田原直剛、若宮拓也、大参宏昌、垣内弘章、渡部平司、安武　潔、芳井熊安、森　勇藏
大気圧プラズマCVDによるエピタキシャルSi薄膜の形成に関する研究
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 797-798, (2005).

垣内弘章、大参宏昌、木上憲吾、安武　潔、芳井熊安、森　勇藏
大気圧プラズマCVDによるダイヤモンドの高速形成に関する研究 ―成膜パラメータがダイヤモンドの結晶性に及ぼす影響―
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 799-800, (2005)

喜多祐起、吉田慎一、渡辺康匡、志村考功、渡部平司、安武　潔、赤坂泰志、奈良安雄、中村邦雄、山田啓作
高誘電率ゲート絶縁膜とメタルゲートの電極との界面反応の評価
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 817-818, (2005)

三島永嗣、川村浩太、志村考功、渡部平司、安武　潔、神山　聡、赤坂泰志、奈良安雄、中村邦雄、山田啓作
熱処理に伴うHfSiOx/SiO2/Si構造の界面酸化反応のX線CTR散乱測定
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 819-820, (2005)

津田　周、打越純一、阿砂利典孝、廣兼孝亮、有馬健太、森田瑞穂
近赤外光干渉計によるシリコンミラーの絶対形状測定 ―三面合わせ法による絶対ライン形状測定―
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 915-916, (2005).

長尾明彦、押鐘　寧、山村和也、遠藤勝義、小田昭紀、Colin Western、後藤基志、藤本 孝
大気圧・高周波ＣＶＭプラズマの加工雰囲気温度とシース電界強度の発光スペクトルによる評価 - 計算機シミュレーションを用いた分子の回転温度とHe発光線のシュタルク効果の検討 -
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, G15, (2005).

村田順二、一井愛雄、森勇藏、広瀬喜久治、遠藤勝義、山内和人、後藤英和
水分解触媒電極を用いた超純水電気化学加工法の研究
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, G21, (2005).

川島　宰、井上晴行、片岡俊彦、中野元博、押鐘　寧、和田勝男
光散乱によるSiウエハ上の微粒子検出装置の開発と実用化
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, J07, (2005).

稲垣耕司、宮田卓哉、岡田尚人、遠藤勝義、広瀬喜久治、森勇藏
光反射率スペクトルを用いたSi洗浄表面の評価
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, J08, (2005).

岡垣　覚、中村崇亮、片岡俊彦、押鐘　寧、井上晴行、中野元博
大口径ミラーの絶対形状評価のためのファイバ型２光源ＰＤＩ干渉計測装置の開発 -ミラー保持方法の改良とノイズの低減 -
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, K44, (2005).

大森　力、赤井　恵、斉藤　彰、桑原　裕司、青野　正和
ペンタセンナノロッドの電気伝導特性評価
第66回応用物理学会学術講演会 (2005).

樋口裕一、大神直輝、赤井　恵、斉藤　彰、桑原　裕司、青野　正和
ナノ領域分子物性計測を目的としたナノギャップ・フラット電極の作成
第66回応用物理学会学術講演会 (2005).

濱岡儀徳、大参宏昌、垣内弘章、安武潔
水素化アモルファスシリコンの表面に蒸着した金属層が水素脱離に及ぼす影響
第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 10a-ZR-2 (2005)

押鐘　寧、長尾明彦、山村和也、遠藤勝義、小田昭紀、Colin Western、後藤基志、藤本 孝
容量結合型・大気圧プラズマのシース電界強度とガス温度の発光分光計測 - ２原子分子の回転スペクトルとHe中性線のシュタルク効果 -
第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 10p-ZG-18, (2005).

押鐘　寧、長尾明彦、山村和也、遠藤勝義、小田昭紀、ウェスタンコリン、後藤基志、藤本　孝
容量結合型・大気圧プラズマのシース電界強度とガス温度の評価 - He中性線のシュタルク効果と原子分子の回転スペクトル −
第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 115-115, (2005) .

岡田茂業、中村亮太、大参宏昌、垣内弘章、渡部平司、安武　潔
大気圧水素プラズマを用いたSiC表面処理
第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 310-310, (2005).

有馬健太、加藤　潤、遠藤勝義
湿式洗浄時の水素終端化Si(110)1×1構造の原子スケール解析
第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 661-661, (2005).

川村浩太、三島永嗣、志村考功、渡部平司、安武　潔、神山　聡、赤坂泰志、奈良安雄、中村邦雄、山田啓作
X線反射率測定によるTiN/HfSiON界面の熱安定性評価
第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 684-684, (2005).

渡辺康匡、吉田慎一、喜多祐起、志村考功、渡部平司、安武　潔、赤坂泰志、奈良安雄、中村邦雄、山田啓作
メタル電極形成条件がTiN/HfSiON界面反応と電気特性に及ぼす影響
第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 684-684, (2005).

清水教弘、堀内慎一郎、志村考功、渡部平司、安武　潔
酸化濃縮法におけるSiGeの酸化機構
第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 726-726, (2005).

西川修平、橋本秀明、近本元則、堀越康祐、青木稔、有馬健太、打越純一、森田瑞穂
光照射下でのSiC/p-Si(001)構造の電気的特性
第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 770-770, (2005).

押鐘　寧、片岡俊彦、中村崇亮、岡垣　覚、中野元博、井上晴行
光ファイバ型点光源を２つ用いたＰＤＩ干渉計による大口径ミラーの形状計測
第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 9p-ZF-8, (2005).

Yasushi Oshikane, Akihiko Nagao, Hiroaki Kakiuchi, Kazuya Yamamura, Katsuyoshi Endo(Grad. School of Eng, Osaka Univ.), Akinori Oda(Grad. School of Eng, Nagoya Inst. of Technol.), Colin M. Western(Grad. School of Chem., Univ. of Bristol)
Spectroscopic Study of Rotational Structures in Electronic Band Spectra Emitted by Hydrogen Molecules in Capacitively Coupled Atmospheric Plasmas
日本MRSシンポジウムプロシーディングス, PPA-H-193, (2005).

赤井　恵、青野　正和、桑原　裕司
ＳＴＭ探針を用いた導電性高分子鎖へのキャリア注入現象
日本物理学会2005年秋季大会

柴原正文、稲垣官司、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森　勇藏
大気圧プラズマ処理によるPETシートの表面改質
表面技術協会第112回講演大会要旨集, 263-264 (2005).

高橋浩史，齋藤彰，北本克征，高木康多，田中義人，三輪大五，矢橋牧名，石川哲也，辛埴，桑原裕司，青野正和
放射光STMによるSi(111)上Geナノアイランドの解析
日本物理学会　2005年秋季大会, 概要集第4分冊p.771, (2005).

高橋浩史、齋藤彰、北本克征、高木康多、田中義人、三輪大五、矢橋牧名、石川哲也、辛埴、桑原裕司、青野正和
放射光STM装置を用いたSi（111）表面上Geナノアイランドの解析
2005年度 関西表面・薄膜セミナー, , (2005).

植村隆文、古本雅子、中野剛志、赤井恵、齋藤彰、桑原裕司
トンネル電流誘起発光分析を用いたフタロシアニン薄膜の発光特性評価
2005年度 関西表面・薄膜セミナー, , (2005).

齋藤彰
モルフォブルーの再現と応用：100nmスケールの表面構造が織り成す自然界のミステリー
2005年度 関西表面・薄膜セミナー, , (2005).

齋藤彰、平井義彦
モルフォ再現基板実用化への道−３原色と大量生産−
2005年度 第6回構造色シンポジウム, , (2005).

安武潔，垣内弘章，大参宏昌，渡部平司
シリコン系薄膜の大気圧プラズマCVDおよびエピタキシャル成長
薄膜材料デバイス研究会第2回研究集会「低温プロセスの再発見」アブストラクト集（2005）, 36, (2005).

渡部平司
次世代MOSFETゲート絶縁膜のナノスケール評価と新プロセス提案
第9回関西半導体解析技術研究会, , (2005).

内藤裕一(1,4)，安藤　敦(1)，小木曽久人(2)，神山　聡(3)，奈良安雄(3)，中村邦雄(3)，渡部平司(4)，安武　潔(4) ※ (1)産総研エレクトロニクス研究部門，(2)産総研先進製造プロセス研究部門，(3)半導体先端テクノロジーズ，(4)大阪大学大学院工学研究科
走査型容量顕微鏡によるHigh-k膜誘電率の面内分布評価
第６６回応用物理学会学術講演会講演予稿集　10a-ZK-10, 680, (2005).

一井愛雄，森　勇藏，後藤英和，広瀬喜久治，遠藤勝義，山内和人
表面修飾電極を用いた超純水中での電気化学加工法
電気化学会第72回大会講演要旨集, 384, (2005).

Akihiko Nagao, Yasushi Oshikane, Akinori Oda, Kazuya Yamamura and Katsuyoshi Endo
Two-Dimensional Density Mapping of Oxygen and Fluorine atoms by Argon Actinometry with Narrow Bandpass Filters
Proceedings of Plasma Science Symposium 2005/ The 22nd Symposium on Plasma Processing, 559-560, (2005).

原英之, 佐野泰久，三村秀和, 山内和人
触媒作用を援用した化学ポリシング法による4H-SiC(0001)の加工
応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第14回講演会予稿集, 59-60 (2005).

渡辺容代、佐野泰久、山村和也、山内和人、石田剛志、有馬健太、遠藤勝義、森勇藏
プラズマCVMによるSiCの加工特性
応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第14回講演会予稿集, 57-58, (2005).

鐘築律夫, 中濱康治, 舩木　毅, かど野勝, 山本達志, 佐野泰久, 山村和也, 遠藤勝義, 森　勇藏
プラズマCVMによるGaNの加工（第1報）−塩素プラズマによる加工−
2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 423-424, (2006).

舩木　毅, 中濱康治, 鐘築律夫, かど野勝, 山本達志, 佐野泰久, 山村和也, 遠藤勝義, 森　勇藏
プラズマCVMによるGaNの加工（第2報）−カソードルミネッセンスによる加工面の評価−
2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 425-426, (2006).

柴原正文, 山村和也, 遠藤勝義, 森　勇藏, 山本雄介, 滝　賢介, 佐野泰久
プラズマＣＶＭによる超高周波水晶振動子の加工（第8報）−大気開放型PCVM加工装置の開発−
2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 427-428, (2006).

藤原明大, 上野浩司, 山村和也, 佐野泰久, 遠藤勝義, 森　勇藏
数値制御プラズマCVMによるEUVL用マスク基板の平坦化 −加工装置および加工条件の改良による平坦度の向上−
2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 429-430, (2006).

小平正和, 篠原　亘, 遠藤勝義, モノシラン(SiH4)とオゾン(O3)との反応を用いた常圧光CVD法による酸化シリコン(SiO2)薄膜の形成
モノシラン(SiH4)とオゾン(O3)との反応を用いた常圧光CVD法による酸化シリコン(SiO2)薄膜の形成
2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 651-652, (2006).

岡本亮太, 竹本慎太朗, 遠藤勝義, 渡部平司
STMによるSi(111)極薄化学酸化膜の欠陥準位の観察
2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1113-1114, (2006).

遠藤勝義, 森　勇藏, 鷹家優一, 東　保男, 久米達哉, 江並和宏
シンクロトロン放射光用ミラーのための超精密非球面形状測定装置の開発
2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1055-1056, (2006).

石田剛志, 有馬健太, 原　英之, 山村和也, 山内和人, 遠藤勝義
新規な研磨加工を行った4H-SiC(0001)表面の原子構造解析
2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1115-1116, (2006).

佐々木都至, 遠藤勝義, 森　勇藏, 安　弘, 植村　健, 見澤　守, 永田　工
ナノパーティクル測定機の検出精度の向上と洗浄効果の評価
2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1127-1128, (2006).

柴原正文, 赤松正守, 神崎　仁, 山村和也
大気圧プラズマ処理によるPTFEの表面改質
表面技術協会第113回講演大会講演要旨集, 240-241, (2006).

有馬健太、加藤潤、遠藤勝義、赤堀浩史、須川成利、寺本章伸、大見忠弘
湿式洗浄プロセスを経たSi(110)表面の原子構造観察
第11回ゲートスタック研究会, 19-24, (2006).

重歳卓志、有馬健太、井上晴行、川島宰、廣兼孝亮、片岡俊彦、森田瑞穂
AFMによるSi(001)ウエハ表面に存在する微小スクラッチの形状測定
第53回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 821, (2006).

米田和史、有馬健太、森田瑞穂
HFおよびHCl溶液浸漬時のGe(001)表面のFTIR-ATR評価
第53回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 830, (2006).

阿砂利典孝、打越純一、廣兼孝亮、有馬健太、森田瑞穂
貼り合わせSOIウエハにおけるボイドの形状解析
第53回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 906, (2006).

桧皮賢治、日高裕二、森田瑞穂、有馬健太
表面ホール電位測定による半導体材料の電気的性質の評価
2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1117-1118, (2006).

大森力、川西隆史、赤井恵、齋藤彰、青野正和、桑原裕司
ペンタセンナノロッドの結晶成長
2006年春季 第53回応用物理学関係連合講演会, 講演予稿集N0.3　22a-N-7　p.1279, (2006).

樋口裕一、大神直輝、由良佳代、赤井恵、斎藤彰、青野正和、桑原裕司
ナノギャップ・フラット電極を用いた分子超薄膜の電気伝導特性評価
2006年春季 第53回応用物理学関係連合講演会, 講演予稿集N0.3　24a-N-10　p.1298, (2006).

古本雅子、植村隆文、中野剛志、赤井恵、齋藤彰、青野正和、桑原裕司
トンネル電流誘起発光分析を用いたフタロシアニン薄膜の発光特性
2006年春季 第54回応用物理学関係連合講演会, 講演予稿集N0.3　25p-N-5　p.1309, (2006).

武尾篤、大西秀治、齋藤彰、赤井恵、青野正和、桑原裕司
LiTaO３表面の超平坦化とその構造解析
2006年春季 第55回応用物理学関係連合講演会, 講演予稿集N0.1　26a-P-9　p.219, (2006).

桑原裕司、有馬健太、赤井恵、齋藤彰、遠藤勝義、青野正和
分子ナノワイヤーの機能制御
21世紀COE主催　シンポジウム　「分子エレクトロニクスの新展開」, , (2006).

桑原裕司
有機単分子鎖の機能制御
第5回光量子場ナノ化学応用技術調査専門委員会および研究会, , (2006).

志村 考功, 三島 永嗣, 渡部 平司, 安武 潔(大阪大学大学院工学研究科), 梅野 正隆(福井工業大学工学部), 辰村 光介, 渡邉 孝信, 大泊 巌(早稲田大学理工学部)
Si酸化膜中の残留秩序構造と絶縁膜/Si界面反応研究への応用
「ゲートスタック研究会　-材料・プロセス・評価の物理- 」 （第11回研究会）, 13-18, (2006).

内藤 裕一, 安藤 淳(産業技術総合研究所 エレクトロニクス研究部門), 小木曽 久人(産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門), 神山 聡, 奈良 安雄, 中村 邦雄(（株）半導体先端テクノロジーズ), 渡部 平司, 安武 潔(大阪大学大学院工学研究科 精密科学専攻)
走査型容量顕微鏡によるHf系ゲート絶縁膜の誘電特性の空間分布
「ゲートスタック研究会　-材料・プロセス・評価の物理- 」 （第11回研究会）, 73 - 77, (2006).

吉田 慎一, 渡辺 康匡, 喜多 祐起, 志村 考功, 渡部 平司, 安武 潔(大阪大学大学院工学研究科), 赤坂 泰志, 奈良 安雄(�株ｼ導体先端テクノロジーズ), 白石 賢二(筑波大学), 山田 啓作(早稲田大学)
メタル電極形成条件がMetal/HfSiON界面反応と電気特性に及ぼす影響
「ゲートスタック研究会　-材料・プロセス・評価の物理- 」 （第11回研究会）, 257 - 261, (2006).

三島永嗣，川村浩太，志村考功，渡部平司，安武　潔
X線CTR散乱を用いたHigh-k/Si界面酸化に関する研究
第53回応用物理学関係連合講演会　 講演予稿集　No.2, 851, (2006).

堀江伸哉1，南　卓士2，北野尚武2，小須田　求2，遠藤勝義1，渡部平司1，安武　潔1阪大工1，キヤノンアネルバ2
真空一貫PVD成膜によるMetal/High-kゲートスタックの作製と評価
第53回応用物理学関係連合講演会　 講演予稿集　No.2, 864, (2006).

清水教弘，堀内慎一郎，志村考功，渡部平司，安武　潔
SiGe/SOI構造の酸化濃縮過程における反応飽和機構
第53回応用物理学関係連合講演会　 講演予稿集　No.1, 414, (2006).

岡田茂業，中村亮太，大参宏昌，垣内弘章，渡部平司，安武　潔
多孔質カーボン電極を用いたSiC表面の大気圧水素プラズマ処理
第53回応用物理学関係連合講演会　 講演予稿集　No.1, 418, (2006).

岡田茂業，吉田大介，志村考功，渡部平司，安武　潔
AlON/SiO2積層構造をゲート絶縁膜に用いた4H-SiC MOSキャパシタの作製と評価
第53回応用物理学関係連合講演会　 講演予稿集　No.1, 418, (2006).

若宮拓也，田原直剛，濱田　亮，柄沢隆文，志村考功，大参宏昌，垣内弘章，渡部平司，安武　潔
大気圧プラズマCVD法によるSiの低温・高速エピタキシャル成長
第53回応用物理学関係連合講演会　 講演予稿集　No.1, 476, (2006).

間部謙三・高橋健介・長谷　卓・五十嵐信行・五十嵐多恵子・忍田真希子（NEC）・渡部平司・安武　潔（大阪大）・辰己　徹（NEC）
HfSiON 及びSiO2 ゲート絶縁膜上のNi フルシリサイドメタルゲート電極
2006年度精密工学会春季大会学術講演会　講演論文集, 635-636, (2006).

川村浩太・三島永嗣・志村考功・渡部平司・安武　潔（大阪大）・神山　聡・赤坂泰志・奈良安雄・中村邦雄（半導体先端テク）・山田啓作（早稲田大）
X線反射率測定によるTiN/HfSiON界面の熱安定性の評価
2007年度精密工学会春季大会学術講演会　講演論文集, 637-638, (2006).

小山　晋・南　綱介・大参宏昌・志村考功・渡部平司・安武　潔（大阪大）
Ge微結晶核付SiO2基板上の多結晶Si薄膜形成に関する研究
2008年度精密工学会春季大会学術講演会　講演論文集, 639-640, (2006).

大塚順，小野倫也，広瀬喜久治
第一原理計算によるAlNナノチューブの分極の計
日本物理学会講演概要集，60(2), 291, (2006).

佐々木孝，小野倫也，広瀬喜久治
第一原理に基づく半無限結晶電極に挟まれたナノストラクチャーの電子状態計算
日本物理学会講演概要集，60(2), 890, (2006).

江上喜幸，小野倫也，広瀬喜久治
第一原理計算によるナノワイヤ列の電気伝導特性予測
日本物理学会講演概要集，60(2), 915, (2006).

朽木克博，小野倫也，広瀬喜久治
第一原理に基づくSi/SiO2界面の電子状態計算−界面欠陥の電気伝導特性への影響−
日本物理学会第61回年次大会, 29pXJ-7, (2006).

大参宏昌, 濱岡儀徳, 荻山宜樹, 垣内弘章, 安武 潔
大気圧プラズマ化学輸送法による�W族半導体薄膜の作製（�T）
2006年度春季　第53回応用物理学関係連合講演会　講演予稿集　No. 2, 978, (2006).

濱岡儀徳, 岸本和也, 大参宏昌, 垣内弘章, 安武 潔
大気圧プラズマ化学輸送法による�W族半導体薄膜の作製（�U）
2006年度春季　第53回応用物理学関係連合講演会　講演予稿集　No. 2, 979, (2006).

井上晴行・川島　宰・片岡俊彦・中野元博・押鐘　寧
光散乱によるSiウエハ上の微粒子検出装置の実用化
2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, N68, 1111, (2006).

堀田克広・片岡俊彦・押鐘　寧・山内良昭・井上晴行・中野元博
集光フェムト秒レーザーを用いた微細加工技術を用いた開孔対プローブの開発
2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, N79, 1123, (2006).

小西康介・奥田　満・片岡俊彦・押鐘　寧・中川寛文・井上晴行・中野元博
微小突起をプローブとした走査型近接場光学顕微鏡の開発 ―結晶の劈開面のナノ構造の観察―
2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, N80. 1125, (2006).

中野元博・細谷明弘・吉川隆弥・大谷祐子・山内良昭・片岡俊彦
ナノ秒レーザ円錐孔アブレーション誘起プラズマの発光計測
2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, P03, 1211, (2006).

片岡俊彦・堀田克広・押鐘　寧・中野元博・米谷玲皇・松井真二
開孔対型近接場光プローブの開発
第53回応用物理学会関係連合講演会講演予稿集, 23p-D-7, 1107, (2006).

片岡俊彦・小西康介・奥田　満・押鐘　寧・中野元博
微小球プローブ近接場光学顕微鏡による劈開ステップの観察
第53回応用物理学会関係連合講演会講演予稿集, 23p-D-8, 1107, (2006).

押鐘　寧・垣内弘章・安武　潔・柄澤隆文・長尾明彦・山村和也・遠藤勝義
大気圧プラズマCVDにおける水素分子のFulcherバンドを用いたガス温度評価
第53回応用物理学会関係連合講演会講演予稿集, 24a-ZC-4, 143, (2006).

松山智至，三村秀和，湯本博勝，原英之，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森勇藏，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
ミラー集光光学系を用いた高分解能硬X線顕微鏡の開発
第19回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　シンポジウム論文集, 57 (2006).

湯本博勝、半田宗一郎、三村秀和、松山智至、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森勇藏、 西野吉則、玉作賢治、矢橋牧名、石川哲也、山内和人
位相回復法にもとづく全反射ミラー表面形状計測
第19回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　シンポジウム論文集, 114 (2006).

三村秀和, 久保田章亀，大道朱里, 山内和人，森　勇藏
ＥＥＭ(Elastic Emission Machining)における表面平滑化機構に関する研究,
2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 445-446 (2006).

三村秀和, 湯本博勝, 松山智至, 山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森　勇藏, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也，山内和人
超高精度X線ミラーの作製とコヒーレントX線による評価,
2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 233-234 (2006).

原英之, 佐野泰久, 三村秀和, 竹川雄也，山内和人,
触媒を援用した化学ポリシング法による4H-SiCの加工（第2報）-加工速度の検討-
2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 557-558 (2006).

原英之, 佐野泰久，三村秀和, 山内和人,
触媒作用を援用した基準形状転写エッチング法によるSiCの平坦化
2006年春季 第53回応用物理学関係連合講演会予稿集，417-417 (2006).

片岸恵子，松山智至，三村秀和，湯本博勝，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森　勇蔵，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
走査型蛍光X線顕微鏡を用いた細胞内元素分布の測定
2006年春季 第53回応用物理学関係連合講演会予稿集No.2　P811(2006).

石本大輔, 木上憲吾, 垣内弘章, 大参宏昌, 安武　潔
大気圧プラズマCVDによるダイヤモンドの形成とその評価
精密工学会2006年度関西地方定期学術講演会講演論文集, pp. 93-94, (2006).

原田　真, 垣内弘章, 大参宏昌, 渡部平司, 安武　潔
Siの大気圧プラズマ酸化によるSiO2の高速形成に関する研究
精密工学会2006年度関西地方定期学術講演会講演論文集, pp. 95-96, (2006).

垣内弘章, 大参宏昌, 犬塚僚平, 桑原康人, 安武　潔
大気圧プラズマCVDにより高速形成した微結晶Si薄膜の特性評価
2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, pp. 641-642, (2006).

桑原康人, 犬塚僚平, 大参宏昌, 垣内弘章, 安武　潔
大気圧プラズマCVDによる微結晶Si薄膜の高速形成
第67回応用物理学会学術講演会講演予稿集, p418, (2006).

原田　真, 垣内弘章, 大参宏昌, 渡部平司, 安武　潔
大気圧プラズマによるSi表面の高速酸化
薄膜材料デバイス研究会第3回研究集会「薄膜デバイスの新展開」, pp. 149-150, (2006).

有馬健太、原英之、佐野泰久、三村秀和、石田剛志、八木圭太、久保田章亀、山内和人
湿式環境下で作製した4H-SiC(0001)表面のSTMによる原子像観察
2006年秋季第67回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 368, (2006).

橋本秀明、山田隆太、有馬健太、打越純一、森田瑞穂
格子状Al電極を持つ金属/酸化膜/半導体トンネリング構造の受光特性
2006年秋季第67回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 1337, (2006).

橋本克泰、花田昂迪、越智保文、廣兼孝亮、打越純一、有馬健太、森田瑞穂
ギャップ電極を用いた伸張固定λDNAの電流-電圧特性
2006年秋季第67回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 1185, (2006).

有馬健太、久保田章亀、三村秀和、加藤潤、稲垣耕司、森勇藏、遠藤勝義、山内和人
純水中の懸濁微粒子を用いて平坦化したSi(001)表面の原子レベル解析と表面創成機構の考察
第26回表面科学講演大会, 62, (2006).

阿砂利典孝、打越純一、津田周、廣兼孝亮、有馬健太、森田瑞穂
近赤外干渉計によるシリコンミラーの絶対形状測定 −ウェッジ付きシリコンミラーの絶対形状測定−
2006年度精密工学会関西地方定期学術講演会, 57-58, (2006).

米田和史、有馬健太、森田瑞穂
薬液浸漬時のGe(001)表面の赤外吸収分光評価
2006年度精密工学会関西地方定期学術講演会, 99-100, (2006).

押鐘　寧，垣内弘章，山村和也，長尾明彦，遠藤勝義，小田昭紀
大気圧・高周波プラズマプロセスにおけるプラズマ雰囲気のガス温度計測 - 水素分子の回転温度に対するヘリウムおよびアルゴンの影響について -
2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, F36, (2006).

中村崇亮，岡垣　覚，松浦敏晋，片岡俊彦，押鐘寧，井上晴行，中野元博
FOW(Fiber Optic Window)投影面を用いた絶対形状計測用ファイバ型PS-PDI (Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)装置の開発
2006 年度精密工学会関西地方定期学術講演会講演予稿集, B03, (2006).

松田琢也，中川礼子，片岡俊彦，押鐘　寧，井上晴行，中野元博
微細加工技術を応用した開孔対型近接場光プローブの開発
2006 年度精密工学会関西地方定期学術講演会講演予稿集, B04, (2006).

奥田　満，原　星児，片岡俊彦，押鐘　寧，井上晴行，中野元博
微小球プローブを用いた走査型近接場光学顕微鏡に よるナノ構造観察
2006 年度精密工学会関西地方定期学術講演会講演予稿集, B06, (2006).

宮路健一，井上晴行，片岡俊彦，中野元博，押鐘寧
白色光源を用いた光散乱型表面評価装置の性能評価
2006 年度精密工学会関西地方定期学術講演会講演予稿集, B08, (2006).

吉川隆弥，大谷祐子，中野元博，片岡俊彦，井上晴行，押鐘　寧
高輝度レーザプラズマEUV(Extreme-ultraviolet）光源の開発 ─ターゲット設計と特性評価─
2006 年度精密工学会関西地方定期学術講演会講演予稿集, B09, (2006).

中野元博，吉川隆弥，大谷祐子，片岡俊彦，井上晴行，押鐘　寧
高性能レーザプラズマEUV(Extreme ultraviolet)光源の開発 - ターゲット構造とEUV変換効率の評価 -
2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, , (2006).

岡垣覚，中村崇亮，松浦敏晋，片岡俊彦，押鐘寧，井上晴行，中野元博
FOW(Fiber Optic Window)投影面を用いた大口径ミラー絶対形状計測用ファイバ型PS-PDI(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)装置の開発
2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, I61, (2006).

押鐘　寧，上野浩司，山村和也，垣内弘章，Colin Western，Nicola Elliott，小田昭紀，門信一郎，安武　潔，遠藤勝義
大気開放型・容量結合CVMプラズマの時空間構造の分光診断
2006年秋季 第67回応用物理学会学術講演会 講演予稿集, 30a-Q-5, (2006).

桑原裕司、赤井恵、齋藤彰、 青野正和
一次元有機分子鎖の電気・電子物性とその機能制御
物性研究所短期研究会「有機物質のナノ電気特性」, , (2006).

Akira Saito
Interaction of Quantum Beam and Materials: Various Applications in Nanoscience
IFCAM Seminar on Nano-Science and Technology, , (2006).

齋藤 彰
モルフォ・ブルーのミステリー：構造色とその応用
市民講座「光と色のやさしい表面科学−光のめぐみを生活の中へ：光機能表面−」, , (2006).

齋藤 彰
モルフォ蝶の特異な発色の再現　−応用のための作製法−
2006年秋季 第67回応用物理学会学術講演会, No.3 p896, (2006).

宮村友輔，中島匡貴, 石川陽子，十河健司, 平井義彦, 齋藤彰
ナノインプリント法によるモルフォブルーの再現
2006年秋季 第68回応用物理学会学術講演会, No.3 p896, (2006).

高橋浩史, 齋藤彰, 高木康多,　北本克征, 花井和久, 田中義人, 三輪大五, 矢橋牧名, 石川哲也, 辛埴, 桑原裕司, 青野正和
放射光STM によるナノスケールでの表面分析
2006年秋季 第69回応用物理学会学術講演会, No.3 p618, (2006).

大神 直輝、赤井 恵、齋藤 彰、桑原 裕司
ナノギャップフラット電極を用いたポリジアセチレンの電気伝導評価
第26回表面科学講演大会, Vol.26 pp.258, (2006).

高橋浩史, 齋藤彰, 高木康多, 花井和久, 田中義人, 三輪大五, 矢橋牧名, 石川哲也, 辛埴, 桑原裕司, 青野正和
放射光STMによるナノスケールでの表面分析（I）
第26回表面科学講演大会, Vol.26 pp.238, (2006).

高木康多，齋藤彰，高橋浩史，花井和久，細川博正，中松健一郎，松井真二，田中義人，三輪大五，矢橋牧名，石川哲也，辛埴，桑原裕司，青野正和
放射光STMによるナノスケールでの表面分析(II)-絶縁被膜探針によるS/N比向上-
第26回表面科学講演大会, Vol.26 pp.239, (2006).

鶴田真司　高橋信孝　楊菁　植村隆文　赤井恵　齋藤彰　桑原裕司
導電性有機薄膜の局所電気伝導二次元マッピング
第26回表面科学講演大会, Vol.26 pp.233, (2006).

石川陽子，宮村友輔，中島匡貴，十河健司，平井義彦，齋藤彰
ナノインプリントリソグラフィーによるモルフォ・ブルーの量産技術の開発
第26回表面科学講演大会, Vol.26 pp.148, (2006).

赤井恵、青野正和、 桑原裕司、
単一ポリジアセチレン分子鎖へのキャリア注入
応用物理学会　有機分子・バイオエレクトロニクス分科会, Vol.17 No. 3 185(13), (2006).

三村秀和
KBミラー光学系による硬Ｘ線の回折限界ナノ集光(2006年応用物理学会論文賞（奨励賞）受賞講演)
2006年度応用物理学会秋季大会, , (2006).

三村秀和, 湯本博勝, 半田宗一郎，松山智至，佐野泰久，西野吉則，玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人
At-wavelength形状計測法による硬X線ナノ集光鏡の開発
2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 207-208, (2006).

片岸恵子，松山智至, 志村まり，三村秀和，湯本博勝, 半田宗一郎 芝谷昭彦, 佐野泰久, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人
走査型蛍光X線顕微鏡を用いた細胞内元素分布の測定
2006年度応用物理学会秋季大会, , (2006).

原　英之, 佐野泰久, 有馬健太，八木圭太，村田順二，久保田章亀，三村秀和,　山内和人
Mo触媒を利用した触媒基準エッチング法によるSiCの平坦化
2006年秋季 第67回応用物理学会学術講演会予稿集, 373, (2006).

原　英之, 佐野泰久, 有馬健太，八木圭太，村田順二，久保田章亀，三村秀和,　山内和人
触媒基準エッチング法による4H-SiCの加工（第3報）―モリブデン触媒の検討―
2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 531-532, (2006).

原　英之, 佐野泰久, 有馬健太，八木圭太，村田順二，久保田章亀，三村秀和,　山内和人
触媒基準エッチング法によるSiC平坦化における代替触媒の評価
応用物理学会　SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会　第15回講演会　予稿集, 110-111, (2006).

村田順二, 久保田章亀，八木圭太，佐野泰久, 原 英之, 有馬健太，三村秀和, 山内和人
触媒基準エッチング法によるＧａＮの加工
2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 533-544, (2006).

村田順二, 久保田章亀，八木圭太，佐野泰久, 原 英之, 有馬健太，三村秀和, 山内和人
触媒基準エッチング法によるＧａＮの加工
応用物理学会　SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会　第15回講演会　予稿集, 112-113, (2006).

増田隆哉、佐野泰久、三村秀和、山内和人
数値制御大気圧プラズマ犠牲酸化によるSOI膜厚の均一化
精密工学会2006年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 83, (2006).

野田恒之, 岡田尚人, 稲垣耕司, 広瀬喜久冶, 遠藤勝義
NH4F処理によるSi(111)面の比較反射率スペクトルの測定と評価
2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, B10, (2006).

朽木克博, 小野倫也, 広瀬喜久治
第一原理に基づくSi/SiO2界面の電子状態計算 -界面欠陥がリーク電流に及ぼす影響-
2006年秋季 第67回応用物理学会学術講演会, 31p-P12-12, (2006).

稲垣耕司, 広瀬喜久治, 遠藤勝義
比較反射率スペクトル法によるSi(111)超平坦水素終端表面の評価
2006年秋季 第67回応用物理学会学術講演会, 29a-ZN-7, (2006).

中山博幸, 小野倫也, 広瀬喜久治
ピーナッツ型フラーレンナノチューブの電子状態計算
日本物理学会2006年秋季大会, 25pPSB-66, (2006).

饗庭秀一郎, 江上善幸, 小野倫也, 広瀬喜久治
第一原理計算による二次元Jelliumワイヤーの電子の輸送特性
日本物理学会2006年秋季大会, 25pPSB-74, (2006).

稲垣耕司, 広瀬喜久治, 遠藤勝義
NH4F処理したSi(111)表面の光学特性
日本物理学会2006年秋季大会, 26aYC-11, (2006).

小野 倫也
実空間差分法に基づく第一原理電子状態・電気伝導特性計算
科学研究費補助金特定領域研究「次世代量子シミュレータ・量子デザイン手法の開発」ミニワークショップ「大規模・高精度電子状態計算手法に関する研究会」, 13-4, (2006).

大塚 順, 小野 倫也, 広瀬喜久治
第一原理計算によるAlNナノチューブの分極の計算
科学研究費補助金特定領域研究「次世代量子シミュレータ・量子デザイン手法の開発」ミニワークショップ「大規模・高精度電子状態計算手法に関する研究会」, P5, (2006).

佐々木 孝, 小野 倫也, 広瀬喜久治
半無限系を含む第一原理計算
科学研究費補助金特定領域研究「次世代量子シミュレータ・量子デザイン手法の開発」ミニワークショップ「大規模・高精度電子状態計算手法に関する研究会」, P7, (2006).

江上 喜幸, 佐々木 孝, 小野倫也, 広瀬 喜久治
Lippmann-Schwinger方程式を用いた電気伝導特性計算手法の開発
科学研究費補助金特定領域研究「次世代量子シミュレータ・量子デザイン手法の開発」ミニワークショップ「大規模・高精度電子状態計算手法に関する研究会」, P9, (2006).

広瀬喜久治
輸送シミュレーション
第二回「計算科学による新たな知の発見・統合・創出」シンポジウム, 「計算科学の戦略と次世代スーパーコンピュータ」, , (2006).

一井愛雄、後藤英和
低環境負荷型電気化学加工法の開発−単結晶シリコン(001)表面の形状パターニング
電気化学会第73回大会講演論文集, 311, (2006).

垣内弘章、大参宏昌、木上憲吾、安武　潔、芳井熊安、森　勇藏
大気圧プラズマCVDによるダイヤモンドの高速形成に関する研究 ―成膜パラメータがダイヤモンドの結晶性に及ぼす影響―
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 799, (2005).

南　綱介，吉本千秋，大参宏昌，志村考功，垣内弘章，渡部平司，安武　潔
Ge微結晶核を用いた多結晶Si薄膜形成
第６７回応用物理学会学術講演会予稿集No.2, 761, (2006).

田原直剛，大参宏昌，寺井慶和，垣内弘章，渡部平司，藤原康文，安武　潔
大気圧プラズマCVD法によって低温成長したSiエピタキシャル膜の評価
第６７回応用物理学会学術講演会予稿集No.1, 419, (2006).

渡部平司，志村考功，安武　潔
High-k絶縁膜界面の増速酸化反応
第６７回応用物理学会学術講演会予稿集No.0, 72, (2006).

桑原康人，犬塚僚平，大参宏昌，垣内弘章，安武　潔
大気圧プラズマCVDによる微結晶Si薄膜の高速形成
第６７回応用物理学会学術講演会予稿集No.1, 418, (2006).

森　勇藏，遠藤勝義，打越純一，鷹家優一，東　保男，久米達也，江並和宏
シンクロトロン放射光ミラーのための超精密非球面形状測定装置の開発−ミラーサイズと形状による測定精度検証−
精密工学会2006年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 59-60, (2006).

岡本亮太，竹本慎太朗，遠藤勝義
位相ロックイン型高周波走査トンネル顕微鏡の開発
精密工学会2006年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 65-66, (2006).

須賀亮介，有馬健太，遠藤勝義，山内和人
水溶液と接触したPt表面の昇温脱離分析
精密工学会2006年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 79-80, (2006).

中濱康治，鐘築律夫，舩木　毅，かど野勝，佐野泰久，山村和也，遠藤勝義，森　勇藏
プラズマCVMによるGaNの加工−加工条件と加工体積−
精密工学会2006年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 85-86, (2006).

藤原明大，上野浩司，山村和也，佐野泰久，森　勇藏
数値制御プラズマCVMによるEUVL用フォトマスク基板の平坦化−立形回転電極を用いた平坦化加工−
精密工学会2006年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 87-88, (2006).

加藤邦仁，山村和也，佐野泰久，森　勇藏
大気圧プラズマを用いた高空間分解能加工プロセスの開発−プラズマ発生用電極の検討−
精密工学会2006年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 89-90, (2006).

上野浩司，押鐘　寧，佐野泰久，山村和也
大気圧・高周波プラズマの計測と制御−発光分光によるプロセスガスの回転温度と振動温度の計測−
精密工学会2006年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 91, (2006).

上野浩司，押鐘寧，佐野泰久，山村和也
空間分解発光スペクトルによる大気圧プラズマ内ガス分子の回転・振動温度計測
第67回応用物理学会学術講演会予稿集, , (2006).

中濱康治，鐘築律夫，舩木　毅，かど野　勝，佐野泰久，山村和也，遠藤勝義，森　勇蔵
プラズマCVMによるGaNの加工（Ｉ）
第67回応用物理学会学術講演会予稿集, 354, (2006).

堀江伸哉，南　卓士，北野尚武，小須田　求，白石賢二，渡部平司，安武　潔
真空一貫PVD成膜によるMetal/High-kゲートスタックの作製と評価 -C汚染低減による特性改善効果-
第67回応用物理学会学術講演会予稿集, 720, (2006).

鷹家優一, 遠藤勝義, 森　勇藏, 東　保男, 久米達哉, 江並和宏
シンクロトロン放射光ミラーのための超精密形状計測装置の開発 ―ミラーサイズと形状による測定精度の検討―
2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 183-184, (2006).

岡本亮太, 有馬健太, 佐野泰久, 原　英之, 石田剛志, 八木圭太, 山内和人, 遠藤勝義
湿式プロセスにより得られた超平坦4H-SiC(0001)実用表面の原子構造解析
2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 539-540, (2006).

山本雄介，森川徹也，柴原正文，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森　勇藏
大気開放型プラズマCVM加工装置によるATカット水晶ウエハの超精密仕上げ
2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 959-960, (2006).

鐘築律夫，中濱康治，舩木　毅，かど野　勝，佐野泰久，山村和也，遠藤勝義，森　勇蔵
プラズマCVMによるGaNの加工（第3報）−電極形状の検討−
2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 961-962, (2006).

舩木　毅，鐘築律夫，中濱康治，かど野　勝，佐野泰久，山村和也，遠藤勝義，森　勇蔵
プラズマCVMによるAlNの加工（第1報）−塩素プラズマによる加工−
2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 963-964, (2006).

藤原明大，高井宏之，三谷卓朗，山村和也
数値制御ローカルウエットエッチング法の開発
2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 969-970, (2006).

岡本　亮太、有馬　健太、佐野　泰久、原　英之、石田　剛志、八木　圭太、久保田　章亀、三村　秀和、山内　和人
湿式プロセスにより得られた超平坦4H-SiC(0001)実用表面の原子構造解析
SIC及び関連ワイドギャップ半導体研究会第15回講演会予稿集, 104-105, (2006).

荻山宜樹，岩本圭司，大参宏昌，垣内弘章，安武　潔
大気圧ミストプラズマを用いた滅菌法の開発
第54回応用物理学関連連合講演会, 29a-A-26, (2007).

岸本和也，大参宏昌，垣内弘章，安武　潔
大気圧プラズマ化学輸送法による固体原料を用いたドライエッチング法の開発(I)
第54回応用物理学関連連合講演会, 27a-H-5, (2007).

桐畑　豊，田原直剛，大参宏昌，垣内弘章，渡部平司，安武　潔
大気圧プラズマCVD法による高品質Siエピタキシャル膜の低温成長
第54回応用物理学関連連合講演会, 29a-SM-14, (2007).

中村亮太，明田正俊，大参宏昌，垣内弘章，安武　潔
大気圧プラズマ炭化による3C-SiCの低温形成
第54回応用物理学関連連合講演会, 27a-ZC-3, (2007).

鎌田大毅，岸本和也，大参宏昌，垣内弘章，安武　潔
大気圧プラズマ化学輸送法を用いたSi成膜における希ガス希釈の影響
第54回応用物理学関連連合講演会, 27p-M-8, (2007).

犬塚僚平，桑原康人，大参宏昌，垣内弘章，安武　潔
大気圧プラズマCVDによる微結晶Si薄膜の高速形成および評価
第54回応用物理学関連連合講演会, 27p-M-9, (2007).

有馬健太、久保田章亀、三村秀和、加藤潤、稲垣耕司、森勇藏、遠藤勝義、山内和人
超純水中のSiO2微粒子により平坦化したSi(001)表面の原子レベル解析と表面創成機構の解明
第12回ゲートスタック研究会, 125-130, (2007).

有馬健太、岡本亮太、原英之、佐野泰久、三村秀和、八木圭太、久保田章亀、山内和人
触媒基準エッチング法により平坦化した4H-SiC(0001)表面不動態化構造の原子レベル解析
第５４回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 433, (2007).

重歳卓志、吉松聖菜、森田瑞穂、有馬健太
液相中でSi(111)原子ステップに修飾した金属細線局所構造のSTM観察
第５４回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 824, (2007).

有馬健太、久保田章亀、三村秀和、加藤潤、稲垣耕司、森勇藏、遠藤勝義、山内和人
純水中の懸濁SiO2微粒子により平坦化したSi(001)表面の原子構造と表面創成機構の考察
第５４回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 835, (2007).

松浦敏晋，岡垣　覚，中村崇亮，押鐘　寧，井上晴行，中野元博，片岡俊彦
ファイバ型PS/PDIによる大口径ミラーの計測
第54回応用物理学関連連合講演会, 28p-S1, (2007).

押鐘　寧，奥田　満，中川礼子，原　星児，松田琢也，井上晴行，中野元博，片岡俊彦
サブμmオーダーの2開孔を用いた走査型近接場光学顕微鏡 のための新型プローブ開発
第54回応用物理学関連連合講演会, 29a-ZX3, (2007).

中川礼子，松田琢也，押鐘寧，井上晴行，中野元博，片岡俊彦
走査型近接場光学顕微鏡のための２開孔プローブの開発（１）　集束イオンビーム加工装置による金属薄膜上の開孔対の作製
2007年度精密工学会春季大会学術講演会, G25, (2007).

押鐘寧，奥田満，原星児，井上晴行，中野元博，片岡俊彦
走査型近接場光学顕微鏡のための２開孔プローブの開発（２） 試作した２開孔周辺の近接場分布の評価
2007年度精密工学会春季大会学術講演会, D45, (2007).

松浦敏晋，岡垣覚，中村崇亮，押鐘寧，井上晴行，中野元博，片岡俊彦
ファイバ型PS-PDI装置(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)の開発　光ファイバからの回折球面波同士の干渉計測による精度の検証
2007年度精密工学会春季大会学術講演会, D46, (2007).

中野元博，吉川隆弥，大谷祐子，井上晴行，押鐘　寧，片岡俊彦
高性能レーザプラズマEUV(Extreme-ultraviolet）光源の開発 -繰り返し発光特性の評価-
2007年度精密工学会春季大会学術講演会, H79, (2007).

中野剛志、植村隆文、赤井恵、齋藤彰、桑原裕司
トンネル電流誘起発光分析を用いたAlq3有機薄膜の発光特性評価
2006年関西薄膜・表面物理セミナー, , (2006).

川西隆史、梨木将登、赤井恵、齋藤彰、桑原裕司
ペンタセンナノロッドの生成とその電気伝導特性の評価
2006年関西薄膜・表面物理セミナー, , (2006).

赤井恵、大神直輝、林賢輔、齋藤彰、桑原裕司
フラット電極を用いたポリジアセチレン分子デバイスの開発
2006年関西薄膜・表面物理セミナー, , (2006).

中野剛志，植村隆文，赤井　恵，齋藤　彰，桑原裕司
トンネル電流誘起発光分析を用いたフタロシアニン薄膜の発光特性評価
第54回応用物理学　学術講演会, 27a-SK-1, (2007).

高橋浩史、齋藤彰、高木康多、花井和久、細川博正、田中義人、吉川明子、赤井恵、石川哲也、辛埴、桑原裕司、青野正和
放射光STMによるナノスケール表面分析：様々な観察表面への試み
2007年春季 第54回応用物理学関係連合講演会, 29a-SL-6, (2007).

大神直輝，林　賢輔，赤井　恵，齋藤　彰，桑原裕司
ナノギャップフラット電極を用いたポリジアセチレンの電気伝導特性評価
第54回応用物理学　学術講演会, 27p-SK-11, (2007).

宮村友輔, 石川陽子,赤井恵,桑原裕司, 齋藤彰
モルフォ蝶構造色の再現と応用 ― 三原色モルフォカラーの作製 ―
2007年春季 第54回応用物理学関係連合講演会, 30a-S-5, (2007).

鶴田真司　高橋信孝、植村隆文、　高見和宏、赤井恵、　齋藤彰、　桑原裕司
有機薄膜の局所電気伝導の二次元マッピング
2007年春季 第54回応用物理学関係連合講演会, 27p-SK-9, (2007).

齋藤彰
「モルフォ蝶発色の原理と応用」を中心に 〜 量子ビームと物質との相互作用： ナノサイエンスへのさまざまな応用〜
ＪＳＴ分野融合フォーラム「伝統工芸と科学技術」, 95-100, (2006).

齋藤彰
構造色の工学的応用：モルフォ蝶発色の不思議
第65回CSTCフォーラム, 1, (2007).

湯本博勝、三村秀和、松山智至、半田宗一郎、木村隆志、井阪貴男、佐野泰久、西野吉則、玉作賢治、矢橋牧名、石川哲也、山内和人
硬X線集光ミラーのための波面誤差評価法の開発
第20回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム, 13P037 p69, (2007).

原　英之, 佐野泰久, 有馬健太，八木圭太，村田順二，久保田章亀，三村秀和,　山内和人
触媒基準エッチング法による2インチ４H-SiCウエハの平坦化
第54回応用物理学会関係連合講演会, 433, (2007).

村田順二、久保田章亀、八木圭太、佐野泰久、原　英之、有馬健太、三村秀和、山内和人
触媒基準エッチング法によるGaN基板の平坦化加工
第54回応用物理学会関係連合講演会, 1486, (2007).

片岸恵子、松山智至、三村秀和、湯本博勝、佐野泰久、西野吉則、玉作賢治、矢橋牧名、石川哲也、山内和人
走査型蛍光X線顕微鏡を用いた細胞内元素の高感度観察
第20回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム, 133, (2007).

江上 喜幸, 小野 倫也, 広瀬 喜久治
第一原理電気伝導特性計算を用いたC2H2分子吸着Si(001)表面におけるSTM像解析
日本物理学会2007年春季大会 （鹿児島大学）, 20aPS-19, (2006).

小野　倫也
第一原理に基づく絶縁膜／半導体界面の電子状態計算 ―界面原子・電子構造とリーク電流―
21世紀COE「原子論的生産技術の創出拠点」ワークショップ 「次世代半導体デバイス開発における計算科学の現状と将来」 （大阪大学 先端科学イノベーションセンター）, , (2006).

堀江 伸哉, 南 卓士, 北野 尚武, 小須田 求, 志村 考功, 白石 賢二, 渡部 平司
真空一貫PVD成膜により作製したTiN/HfSiONゲートスタックの構造および電気特性評価
ゲートスタック研究会-材料・プロセス・評価の物理　第１2回研究会予稿集, 55-59, (2007).

志村考功, 清水教弘, 堀内慎一郎, 渡部平司, 安武 潔, 梅野正隆
SiGe/SOI構造の酸化濃縮過程における自己停止現象とその解析
ゲートスタック研究会-材料・プロセス・評価の物理　第１2回研究会予稿集, 143 - 147, (2007).

喜多 祐起, 吉田 慎一, 安藤 崇志, 田井 香織, 岩元 勇人, 志村 考功, 渡部 平司, 安武 潔
次世代nMOSFET用HfSix/HfO2/Siゲートスタックの界面反応メカニズム
ゲートスタック研究会-材料・プロセス・評価の物理　第１2回研究会予稿集, 283-287, (2007).

有村拓晃，堀江伸哉，南　卓士，北野尚武，小須田　求，志村考功，渡部平司
構造最適化によるHfTiSiO高誘電率ゲート絶縁膜の高性能化
第５４回応用物理学関係連合講演会予稿集No.2, 843, (2007).

喜多祐起，吉田慎一，志村考功，安武　潔，渡部平司，白石賢二，大田晃生，宮崎誠一，奈良安雄，山田啓作
Hf系ゲート絶縁膜/電極界面の実効仕事関数変調機構の統一的理解
第５４回応用物理学関係連合講演会予稿集No.2, 848, (2007).

朽木克博，岡本　学，志村考功，安武　潔，渡部平司
プラズマ窒化によるゲルマニウム窒化膜の形成とその安定性評価
第５４回応用物理学関係連合講演会予稿集No.2, 864, (2007).

桐畑　豊，田原直剛，大参宏昌，垣内弘章，渡部平司，安武　潔
大気圧プラズマCVD法による高品質Siエピタキシャル膜の低温成長
第５４回応用物理学関係連合講演会予稿集No.2, 905, (2007).

志村考功，川村浩太，浅川正大，渡部平司，安武　潔，小椋厚志，福田一徳，坂田修身，木村　滋
放射光X線マイクロビームとトポグラフィによる歪みSiウェーハの評価
第54回応用物理学関係連合講演会予稿集No.1, 423, (2007).

渡邊　優，原田　真，志村考功，安武　潔，渡部平司
SiO2/SiC界面特性の酸化膜厚依存性とその改善法の検討
第54回応用物理学関係連合講演会予稿集No.1, 443, (2007).

上野浩司，押鐘　寧，佐野泰久，山村和也
空間分解発光分光スペクトルを用いたCVMプラズマ中のガス分子の回転・振動温度の計測
第24回「プラズマプロセシング研究会(SPP-24)」, 369-370, (2007).

森川徹也, 山本雄介, 柴原正文, 佐野泰久, 山村和也, 森勇藏
大気開放型プラズマCVMによるATカット水晶ウエハの厚み修正加工
2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 533-534, (2007).

高井宏之, 藤原明大, 三谷卓朗, 山村和也
数値制御ローカルウエットエッチング法による硬X線集光用楕円面ミラーの作製
2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 535-536, (2007).

三谷卓朗, 藤原明大, 高井宏之, 山村和也
数値制御ローカルウエットエッチング法を用いたSOIの膜厚均一化加工−エッチャント組成と加工特性の相関−
2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 537-538, (2007).

鷹家優一, 東保男, 遠藤勝義, 森勇藏, 打越純一, 久米達哉, 江並和宏
傾斜角積分法による放物面の形状計測
2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 425-426, (2007).

安弘, 永田工, 遠藤勝義, 森勇藏, 佐々木都至
光散乱法によるナノパーティクル測定機を用いたマイクロラフネス測定法の検出空間波長評価
2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 429-430, (2007).

三谷宗久・真鍋享平・山村和也・遠藤勝義・是津信行
プログラム自己組織化による磁性金属複合ナノ粒子の合成
日本化学会第87春季年会講演予稿集, 236, (2007).