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UCR･UCF |
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| 原子・電子レベルの先端技術開発では、わずかな汚染物が実験結果に影響を及ぼすため、実験雰囲気およびプロセスに用いられるガス・水からあらゆる不純物を取り除いたウルトラクリーンな環境を整備しなければ、研究開発に不可欠な再現性と信頼性を保証することができません。本21世紀COEプログラムでは、独自の最先端研究施設であるウルトラクリーンルーム(UCR)とウルトラクリーン実験施設(UCF)を大いに利用し、ナノテクノロジーやエネルギー、環境などの分野に密接に関連した数々の研究を行っています。 |
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| [ウルトラクリーンルーム(UCR)] |
 清浄度(クラス1)に加えて、世界最高レベルの超高純度ガス・超純水供給設備、高性能薬液洗浄設備なども備えた実験室で、平成９年に完成しました。ここには、これまでに独自に開発した基礎実験用の加工・成膜および計測評価装置が多数設置され、原子論的生産技術創出のための基礎研究が行われています。
→ウルトラクリーンルーム（UCR）のホームページはこちら |
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| [ウルトラクリーン実験施設(UCF)] |
 平成15年度竣工の学術研究実験棟に設置されている、完全ダウンフロータイプ（3層構造）の本格的なクリーン環境実験施設で、世界最高の超純水と超高純度ガスを供給できる設備が導入されています。ここでは、UCRで行われた独創的な研究成果を実用化するための研究が行われます。
(上)
学術研究実験棟 ，(下)ウルトラクリーン環境実験施設内部 |
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