大阪大学 21世紀COEプログラム「原子論的生産技術の創出拠点」
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原子論的生産技術
原子論的生産技術とは
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プラズマCVM
大気圧プラズマCVD
超純水のみによる電気化学加工
超精密非球面形状測定
SREM/STM
極微弱光散乱表面計測法
第一原理分子動力学シミュレーション
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