大阪大学　21世紀COEプログラム「原子論的生産技術の創出拠点」

	概要
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	事業推進担当者

	原子論的生産技術とは
	EEM
	プラズマCVM
	大気圧プラズマCVD
	超純水のみによる電気化学加工
	超精密非球面形状測定
	SREM/STM
	極微弱光散乱表面計測法
	第一原理分子動力学シミュレーション

	学術論文
	国際会議
	学会発表
	その他

リンク

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大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻　　　　　　　　　　機能材料領域　　　　　　　　　　先端機器システム領域　　　　　　　　　　量子計測領域　　　　　　　　　　原子制御プロセス領域　　　　　　　　　　超精密加工領域　　　　　　　　　　計算物理領域	http://www.prec.eng.osaka-u.ac.jp/ http://www-ms.prec.eng.osaka-u.ac.jp/ http://www-pm.prec.eng.osaka-u.ac.jp/ http://www-qm.prec.eng.osaka-u.ac.jp/ http://www-ss.prec.eng.osaka-u.ac.jp/ http://www-up.prec.eng.osaka-u.ac.jp/ http://www-cp.prec.eng.osaka-u.ac.jp/
大阪大学大学院工学研究科物質・生命工学専攻　　　　　　　　　　応用表面科学講座	http://www.mls.eng.osaka-u.ac.jp/ http://www-asf.prec.eng.osaka-u.ac.jp/
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